Die radioaktive Markierung erfolgt in einer präzise einstellbaren dünnen Schicht in der kritischen Zone des zu untersuchenden Maschinenteils.
Die kritische Zone wird mit hochenergetischen geladenen Teilchen am Zyklotron-Beschleuniger bestrahlt. Typische Schichttiefen liegen im Bereich 20 µm bis 200 µm. Durch Kern-Reaktionen werden dabei radioaktive Atomkerne im Maschinenteil erzeugt, die trotz ihrer äußerst geringen Konzentration (im Verhältnis von 10-11 aktiven zu unveränderten Kernen) eine gut messbare Gamma-Strahlung aussenden. Die Aktivierung ändert die mechanischen, tribologischen und chemischen Eigenschaften des Bauteils nicht.
Auch bei gekrümmten Flächen ist eine exakt definierte Markierung möglich. Für alle bekannten metallischen Werkstoffe wurden die physikalischen und werkstofftechnischen Grundlagen zur Markierung über mehr als 3 Jahrzehnte entwickelt und in der Industrie erprobt. Polymerwerkstoffe und DLC können mittels Be-7-Ionenimplantation radioaktiv markiert werden.